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中国航天科技集团公司是根据国务院深化国防科技工业管理体制改革的战略部署，经国务院批准，于1999年7月1日在原中国航天工业总公司所属部分企事业单位基础上组建的国有特大型高科...
基于 MEMS 工艺的新型高线性压力传感器设计
作者： 胡智文
摘要：基于 MEMS 工艺，提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板结合的电容式微机械压力传感器。改变了经典的上下电极接触过程，并增加了深刻蚀工艺附加深孔结构，使传感器几乎完全工作在线性区间。针对其量程，分析了复合膜厚度对极板接触状态及线性度的影响，并利用有限元分析法对结构进行了模拟与验证，最后给出了工艺流程说明。该方案可为工作于100~800 kPa 的汽车胎压监控（TPMS）提供一种新的传感器实现方式。
关键字： MEMS 工艺 接触式 压力传感器 复合膜 高线性度